IEST-RP-CC012.2：潔凈室設(shè)計(jì)要點(diǎn)（中文完整版）

IEST-RP-CC012.2的規(guī)劃部分能夠幫助用戶建立項(xiàng)目需求和開(kāi)發(fā)基礎(chǔ)設(shè)計(jì)，環(huán)境科學(xué)技術(shù)學(xué)會(huì)（IEST），建議實(shí)行的標(biāo)準(zhǔn)“IEST-RP-CC012.1：設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)要考慮的問(wèn)題”，最近已經(jīng)完成修訂，預(yù)計(jì)在今年年底出版。長(zhǎng)期以來(lái)，原來(lái)推薦的規(guī)程一直是有關(guān)潔凈室設(shè)計(jì)、建筑和所有權(quán)的主要標(biāo)準(zhǔn)。它往往是用戶開(kāi)始學(xué)習(xí)和了解潔凈室用途最重要的第一步。

    這個(gè)文件的正式范圍是：這個(gè)推薦規(guī)程（RP針對(duì)潔凈室設(shè)計(jì)中需要考慮的有關(guān)因素提出建議。這個(gè)論述僅限于那些潔凈室設(shè)計(jì)者和用戶經(jīng)常會(huì)遇到的環(huán)境條件。

    這個(gè)修訂文件――IEST-RP-CC012.2和原來(lái)的文件一樣，由兩個(gè)主要部分組成：規(guī)劃和設(shè)計(jì)要求。這個(gè)新文件是在原來(lái)的推薦規(guī)程（RP）基礎(chǔ)上做了大量的修訂和更新，并且增加了幾個(gè)新題目。

這個(gè)新文件包括了對(duì)防火、空氣過(guò)濾、空氣分子污染（AMC）、工廠自動(dòng)化、工廠監(jiān)控和關(guān)閉工廠的論述。它對(duì)原來(lái)的微環(huán)境、供電和潔凈室建筑規(guī)程都作了重大的擴(kuò)充。在噪音、振動(dòng)和污染控制部分也作了更新，不僅包含現(xiàn)有最新的標(biāo)準(zhǔn)，還預(yù)測(cè)了未來(lái)的標(biāo)準(zhǔn)。

    在規(guī)劃部分還增加了維護(hù)、備用設(shè)備、改造、靈活性、生物工程學(xué)和能源效率等特殊需求的論述。
IEST-RP-CC012.2對(duì)所有行業(yè)的潔凈室所有者、使用者、設(shè)計(jì)者和建造者都很重要。
我們一起來(lái)近距離地看看這個(gè)新文件。

規(guī)劃
規(guī)劃部分適用于目前的潔凈室用戶和那些有計(jì)劃使用潔凈室的用戶。它用合乎邏輯的程序來(lái)引導(dǎo)用戶，這個(gè)程序明確了項(xiàng)目的要求，并且提出一套實(shí)現(xiàn)這些要求的方法。這部分使用W. Pena于上世紀(jì)80年代研究出來(lái)的方法，提供其他文件所沒(méi)有的信息來(lái)源。人們常說(shuō)，如果把原來(lái)的IEST-RP-CC012.1的章節(jié)的主題標(biāo)題單獨(dú)拿出來(lái)并且去掉后面的論述，它和Pena的最初的工作一樣，是一個(gè)非常完整的潔凈室設(shè)計(jì)清單。這個(gè)新文件包括了原來(lái)所有的內(nèi)容并且增加了幾個(gè)新章節(jié)。

規(guī)劃部分首先回顧了制造過(guò)程和制定用來(lái)確定生產(chǎn)布置的效用圖表。這個(gè)效用圖表還可以用來(lái)確定與制造工藝有關(guān)的污染控制、人身安全和環(huán)境問(wèn)題。

這部分提供污染物控制的指導(dǎo)方針，它把各種類型的污染物分門歸類并且列出用來(lái)減輕污染的常用方法。它包括了關(guān)于人生安全和環(huán)境的問(wèn)題、關(guān)鍵物流、場(chǎng)地選擇標(biāo)準(zhǔn)、安全和進(jìn)出控制和政府管理方面的論述。

IEST-RP-CC012.2在規(guī)劃部分引進(jìn)一些新題目，包括防火、特殊要求和能源效率。特殊要求部分非常有用，因?yàn)樗嗽谠O(shè)計(jì)過(guò)程中常常被忽視掉的一些問(wèn)題。這些問(wèn)題包括維護(hù)能力、借用設(shè)備、靈活性等。能源效率提出降低能源消耗的建議，而且還提供通過(guò)實(shí)際案例研究得到的數(shù)據(jù)。

還有一個(gè)新章節(jié)，它涉及現(xiàn)有設(shè)備的改造問(wèn)題。它回顧了對(duì)現(xiàn)有潔凈室進(jìn)行改造的物流問(wèn)題和以后對(duì)運(yùn)行的影響。
這個(gè)文件的規(guī)劃部分還包括生物工程學(xué)、預(yù)算和進(jìn)度方案。

設(shè)計(jì)要求
IEST-RP-CC012.2的規(guī)劃部分能夠幫助用戶建立項(xiàng)目需求和開(kāi)發(fā)基礎(chǔ)設(shè)計(jì)，這部分關(guān)于設(shè)計(jì)需求的論述增加了關(guān)于工藝的細(xì)節(jié)。我們?cè)谶@里找到關(guān)于各種工廠系統(tǒng)的論述，并且它們可能最適合在最終的設(shè)計(jì)中使用。這部分首先回顧了潔凈室中氣流模型的類型：?jiǎn)蜗驓饬?、非單向氣流和混合氣流，并且提供關(guān)于各種氣流模型的使用指導(dǎo)。它還論述了關(guān)于如何保持理想的氣流模型的建筑布置。

這個(gè)章節(jié)是關(guān)于氣流的指導(dǎo)方針，已經(jīng)作了更新并且擴(kuò)大了范圍，它包含新版的建議氣流速度表。無(wú)論提供的怎樣的數(shù)據(jù)，它總是會(huì)引起激烈的爭(zhēng)論。人們希望新版本能夠做和老版本一樣的事情?？諝膺^(guò)濾部分回顧了在線過(guò)濾器和終端過(guò)濾器兩種產(chǎn)品并且列出了適當(dāng)?shù)臏y(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。http://www.iwuchen.com/

原文件的核心部分――HVAC系統(tǒng)構(gòu)成，在修訂后的文件中仍然保留，并且提供關(guān)于溫度、濕度、壓力和排風(fēng)方面的討論依據(jù)。這部分描述了由排風(fēng)決定的系統(tǒng)、由冷卻決定的系統(tǒng)和潔凈度分類決定的系統(tǒng)，并且向用戶提供關(guān)于哪個(gè)系統(tǒng)才是最適合的必要的信息。

文件分別提供溫度、濕度、壓力和排風(fēng)的指導(dǎo)方針、認(rèn)證要求和設(shè)計(jì)參數(shù)，通過(guò)詳細(xì)說(shuō)明HVAC標(biāo)準(zhǔn)來(lái)指導(dǎo)用戶達(dá)到項(xiàng)目的具體要求。

增加了新的章節(jié)，它涉及檢驗(yàn)空氣分子污染（AMC）和用來(lái)控制空氣分子污染的系統(tǒng)。它將AMC控制和HVAC系統(tǒng)整合在一起，這樣能夠把必要的設(shè)計(jì)元素結(jié)合起來(lái)。

關(guān)于噪聲和振動(dòng)的章節(jié)已經(jīng)更新完成，它包括現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)。特別值得注意的是，它引進(jìn)了兩個(gè)新的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)曲線：VC-F和VC-G。雖然這個(gè)新標(biāo)準(zhǔn)還沒(méi)有得廣泛的使用，但是對(duì)某些應(yīng)用來(lái)說(shuō)非常重要，比如納米技術(shù)。
關(guān)于潔凈室電力部分的范圍擴(kuò)大很多，包括備用設(shè)備、安全、應(yīng)急用的電力系統(tǒng)和備用電力系統(tǒng)等問(wèn)題。它還論述了靜電干擾和潔凈室照明問(wèn)題。

關(guān)于人身安全的章節(jié)現(xiàn)在包括關(guān)于有毒氣體監(jiān)視系統(tǒng)和檢漏的論述。
自IEST-RP-CC012.1第一次出版至今，微環(huán)境技術(shù)已經(jīng)取得很大的進(jìn)步。因此，關(guān)于微環(huán)境部分的章節(jié)增加了許多，并且把重點(diǎn)放在微環(huán)境和建筑系統(tǒng)的整合上。“IEST-RP-CC028.1：微環(huán)境”中的內(nèi)容已經(jīng)加入如何幫助用戶根據(jù)具體用途來(lái)確定使用什么類型和結(jié)構(gòu)的微環(huán)境。

許多新的和現(xiàn)有的工廠在他們的設(shè)計(jì)中加入自動(dòng)化系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的工廠整合和運(yùn)行建議非常重要。IEST-RP-CC012.2關(guān)于工廠自動(dòng)化的章節(jié)提供了關(guān)于這些系統(tǒng)使用和整合方面的指導(dǎo)。

許多現(xiàn)代化潔凈室工廠包含有專門用來(lái)提供與操作參數(shù)有關(guān)的實(shí)時(shí)信息的工廠監(jiān)視系統(tǒng)。這些參數(shù)包括溫度、壓力、濕度和空氣微粒的等級(jí)。這個(gè)新文件詳細(xì)描述了這些系統(tǒng)并且提供關(guān)于所使用的系統(tǒng)類型的指導(dǎo)性意見(jiàn)。
許多工廠老化或者技術(shù)落后，需要讓它們退役，這就是關(guān)閉工廠程序。這個(gè)程序提供經(jīng)濟(jì)上、環(huán)境上和人身安全方面的建議。IEST-RP-CC012.2提供與工藝、工廠和建筑部件有關(guān)的關(guān)閉工廠的指導(dǎo)。

人們把潔凈室建筑規(guī)程作為成功的潔凈室項(xiàng)目的基礎(chǔ)。 IEST-RP-CC012.2回顧了執(zhí)行這樣一個(gè)計(jì)劃的規(guī)劃、物流保障和程序等方面的要求。它回顧了外界隔離、進(jìn)出控制、培訓(xùn)和不間斷清潔等方面的要求。這個(gè)RP的附錄包括一個(gè)的潔凈室建筑規(guī)程計(jì)劃的例子，適合用戶使用或改進(jìn)。

長(zhǎng)期以來(lái)，“IEST RP 12.1：設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)要注意的問(wèn)題”已經(jīng)成為潔凈室規(guī)劃和設(shè)計(jì)最主要的工具。這與提供食譜不同，它引導(dǎo)用戶通過(guò)仔細(xì)考慮關(guān)于規(guī)劃和設(shè)計(jì)方面的問(wèn)題，通過(guò)開(kāi)發(fā)能夠滿足具體需求的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)協(xié)助用戶和設(shè)計(jì)人員。IEST-RP-CC012.2保留了許多原有內(nèi)容，在此基礎(chǔ)上對(duì)原有內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，提供更多的內(nèi)容并且更新設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。這個(gè)文件是與潔凈室規(guī)劃和設(shè)計(jì)有關(guān)的基礎(chǔ)讀物。

作者簡(jiǎn)介
本文作者M(jìn)ichael A. Fitzpatrick是McGill潔凈室系統(tǒng)公司副總裁，他從事半導(dǎo)體工廠的設(shè)計(jì)與建造超過(guò)27年。他是環(huán)境科學(xué)與技術(shù)學(xué)會(huì)的高級(jí)會(huì)員，擔(dān)任“WG-CC012：潔凈室設(shè)計(jì)中需要考慮的問(wèn)題”和“WG-CC0028：微環(huán)境”的主席。他是IEST的副主席。電子郵件：fitz@mcg-illcleanroom.com。

IEST簡(jiǎn)介
環(huán)境科學(xué)技術(shù)學(xué)會(huì)（IEST）成立于1953年，是一個(gè)國(guó)際非贏利性的技術(shù)組織，由工程師、科學(xué)家和教育家組成，他們通過(guò)教育和發(fā)展推薦規(guī)程和標(biāo)準(zhǔn)同時(shí)為IEST的會(huì)員和自己所代表的行業(yè)（地球和太空環(huán)境的模擬、測(cè)試、控制和教學(xué)）服務(wù)。IEST是一個(gè)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)開(kāi)發(fā)組織、“ISO/TC 209：潔凈室和有關(guān)聯(lián)的控制環(huán)境”的秘書處、美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的“US TAG到ISO/TC 209”的管理機(jī)構(gòu)、美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的“US TAG到ISO/TC 142：空氣和其他氣體的清凈設(shè)備”的管理機(jī)構(gòu)和美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化組織認(rèn)可的“TAG到ISO/TC 229：納米技術(shù)”的創(chuàng)始會(huì)員。