前言：無(wú)塵車間的生長(zhǎng)與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)慎密的聯(lián)系在一起?，F(xiàn)在在生物制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、食物日化、電子光學(xué)、能源、周詳器械等行業(yè)運(yùn)用已經(jīng)相當(dāng)?shù)钠毡榍页墒臁?/p>

空氣潔凈度品級(jí)（air cleanliness class）：潔凈空間單元體積空氣中，以大于或即是被思量粒徑的粒子最大濃度限值舉行劃分的品級(jí)尺度。海內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)對(duì)無(wú)塵車間舉行測(cè)試、驗(yàn)收，相符《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

潔凈度和控制污染的連續(xù)穩(wěn)定性，是磨練無(wú)塵車間質(zhì)量的焦點(diǎn)尺度，該尺度憑據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈水平等因素，分為若干品級(jí)，常用的有國(guó)際尺度和海內(nèi)區(qū)域行業(yè)尺度。(www.iwuchen.com)

ISO14644-1國(guó)際尺度—空氣潔凈度品級(jí)劃分

GB50073-2013 國(guó)家尺度—空氣潔凈度品級(jí)

中國(guó)GMP（2010年修訂）新版GMP附錄1 無(wú)菌藥品.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級(jí)別空氣懸浮粒子的尺度劃定如下

各國(guó)潔凈度品級(jí)近似對(duì)照表

無(wú)塵車間（潔凈室）品級(jí)說(shuō)明

首先是品級(jí)界說(shuō)的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無(wú)塵室的品級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者劃定，該無(wú)塵室微粒含量，在這些粒徑必須知足該品級(jí)的限度。這樣可以削減紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....)，一樣平常看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... )，一樣平常要看多幾個(gè)粒徑。

第二個(gè)技巧是劃定無(wú)塵室的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

供貨商就很清晰知道無(wú)塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。

第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一樣平常在As-built時(shí)無(wú)塵室都很潔凈，微?？刂颇芰y(cè)試不易，這時(shí)可以爽性把驗(yàn)收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無(wú)塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微粒控制能力。

半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室案例圖集

1、 黃光車間多建在百級(jí)潔凈區(qū)，千級(jí)潔凈區(qū)也有涉及

2、半導(dǎo)體潔凈室（高架地板）常應(yīng)用于百級(jí)和千級(jí)區(qū)域

3、 通例半導(dǎo)體潔凈室（潔凈區(qū)：萬(wàn)級(jí)至十萬(wàn)級(jí)）