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三十萬級(jí)微電子無塵凈化車間工程設(shè)計(jì)施工

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        電子光學(xué)微電子凈化工程定義為一定空間區(qū)域內(nèi)空氣中的浮塵顆粒。去除有害氣體、細(xì)菌等污染物,記錄房間內(nèi)的溫度和濕度。清潔度。房間內(nèi)的工作壓力。旋轉(zhuǎn)速率充滿了旋轉(zhuǎn)。噪聲振動(dòng)和照明燈。靜電感應(yīng)操作在一定的要求范圍內(nèi),并給出了特別設(shè)計(jì)方案的封閉空間。電子光學(xué)微電子凈化工程項(xiàng)目也被稱為潔凈室或安靜室,目前已是半導(dǎo)體材料。精密制造。液晶顯示屏生產(chǎn)制造。電子光學(xué)生產(chǎn)制造。PCB電路板生產(chǎn)制造和細(xì)胞生物學(xué)。制藥。食品生產(chǎn)制造和其他領(lǐng)域不可或缺的主要設(shè)備。近年來,由于技術(shù)改革和創(chuàng)新,對商品的高精度和微型化的要求更加迫切。例如,大型積體電路的科學(xué)研究已成為各國高度重視智能技術(shù)的新項(xiàng)目,我公司的設(shè)計(jì)理念和施工技術(shù)處于行業(yè)領(lǐng)先水平。

電子光學(xué)微電子凈化工程一般包括:

1.潔凈廠區(qū)。

2.不銹鋼空氣淋浴房(包括工作人員凈化用地、原材料凈化專室、部分日常生活專室等。

3.工業(yè)園區(qū)(包括辦公室、值班、管理方法、休息等)

4.機(jī)械設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)機(jī)組使用、電氣設(shè)備用地、超純水、高純氣用地、熱冷機(jī)械設(shè)備用地)

電子光學(xué)微電子凈化工程凈化的基本原理。

空氣旋轉(zhuǎn)→初始空氣過濾凈化→中央空調(diào)→中間過濾空氣過濾凈化→離心風(fēng)機(jī)排氣→管道→高效空氣過濾凈化出口→吹進(jìn)房間→帶灰塵細(xì)菌和其他顆粒→空氣百葉窗簾→初始空氣過濾凈化重復(fù)上述全過程,可實(shí)現(xiàn)凈化目的。

電子光學(xué)微電子凈化工程凈化的主要參數(shù)。

通風(fēng)次數(shù):1萬級(jí)≥15次;1萬級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主生產(chǎn)車間對鄰近房屋≥5Pa。

平均風(fēng)力:10級(jí).100級(jí)0.3-0.5.5;冬季溫度>16℃;夏季26℃;起伏±2℃。溫度45-65%;GMP顆粒劑生產(chǎn)車間的環(huán)境濕度應(yīng)在50%左右;電子設(shè)備生產(chǎn)車間的環(huán)境濕度略高,以防止靜電感應(yīng)。噪音≤65dB(A);新風(fēng)系統(tǒng)填充量為總排氣量的10%-30%;光強(qiáng)300LX。
電子光學(xué)無塵室

電子光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)原料。

1.凈化無塵車間/工業(yè)廠房墻體。頂家具板一般采用50mm厚的夾層彩鋼板制造,美觀大方,剛度強(qiáng)?;⌒螇δ_、門窗一般采用專用空氣氧化鋁合金型材制造。

2.環(huán)氧樹脂自流坪環(huán)氧地板或高檔耐磨塑料地板可用于路面。如果有抗靜電標(biāo)準(zhǔn),可以使用抗靜電型。

3.送回風(fēng)口采用熱渡鋅板制成,貼防火型PF聚氨酯泡沫塑料板,用于凈化保溫。

4.高效出風(fēng)口采用不銹鋼板結(jié)構(gòu),清洗美觀大方。沖孔網(wǎng)板采用烤漆工藝鋁合金板,不銹不粘塵,應(yīng)清洗。

電子光學(xué)微電子凈化項(xiàng)目解決方案:

在凈化工程項(xiàng)目的設(shè)計(jì)過程中,應(yīng)加強(qiáng)對電子光學(xué)微電子領(lǐng)域凈化建筑工程設(shè)計(jì)方案的分析和掌握,根據(jù)項(xiàng)目是新建項(xiàng)目或舊廠房改造項(xiàng)目,并整合其詳細(xì)的生產(chǎn)過程。生產(chǎn)過程需要明確所需的清潔度。溫度和濕度記錄。根據(jù)項(xiàng)目的詳細(xì)情況,同時(shí)充分考慮制造商的財(cái)務(wù)容忍度,綜合各種因素,明確選擇哪種凈化方案,以便設(shè)計(jì)方案能夠滿足招標(biāo)人的生產(chǎn)和制造應(yīng)用規(guī)定。項(xiàng)目預(yù)算有效。經(jīng)濟(jì)發(fā)展、環(huán)保、節(jié)能、易于使用的規(guī)劃方案。

1.組合新風(fēng)機(jī)組+制冷機(jī)組+高效送風(fēng)口。

這是一種傳統(tǒng)的凈化空調(diào)機(jī)組方案設(shè)計(jì)。組合式新風(fēng)機(jī)組包括各種功能段,如混合段、初始過濾段、表面冷卻段、二次送風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中間過濾器過濾段、離心風(fēng)機(jī)段等。冷源由制冷機(jī)組提供。

  優(yōu)勢:

A.氣體解決方案效果很好。由于氣體集中運(yùn)輸,整個(gè)排氣過程中環(huán)境污染程度較低。排氣溫度。環(huán)境濕度操作更準(zhǔn)確;

B.更適合集中冷源或較大的工業(yè)廠房;

C.中央空調(diào)冷熱原可與工業(yè)廠房一般空調(diào)機(jī)組共用或單獨(dú)冷熱原;

D.維護(hù)頻率低;

E.生產(chǎn)車間噪音低。
電子光學(xué)無塵室

  缺陷:

A.必須有配套的冷凍機(jī)房或室外室內(nèi)空間放置水源熱泵機(jī)組。此外,還必須有一個(gè)清潔的空調(diào)室,用于放置組合式新風(fēng)機(jī)組,如25000m3/h的組合式新風(fēng)機(jī)組,其常見尺寸在6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造的新項(xiàng)目,很難空出20-30°的計(jì)算機(jī)房;

工程造價(jià)高。

  特性:

A.建議新風(fēng)系統(tǒng)在集中運(yùn)輸后與送風(fēng)混合,以降低表冷段的冷暴力壓力;

B.該方案一般適用于潔凈度較高的凈化無塵車間/工業(yè)廠房,如千級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)。

2.電子光學(xué)微電子領(lǐng)域凈化建筑工程設(shè)計(jì)方案分析水冷柜+增加壓力風(fēng)柜+高效送風(fēng)口。

與之前的計(jì)劃相比,這也是一個(gè)相對簡單的中央空調(diào)計(jì)劃。它可以大大降低計(jì)算機(jī)房的總面積,水冷卻器可以根據(jù)實(shí)際情況布局在小計(jì)算機(jī)房或凈化車間,增加壓力風(fēng)柜也可以放置在計(jì)算機(jī)房或掛在數(shù)據(jù)中心或隔間。

  優(yōu)勢:

A.氣體解決方案具有良好的實(shí)際效果,解決后的氣體在整個(gè)排氣過程中被環(huán)境污染較低。排氣溫度。環(huán)境濕度操作效果可以實(shí)現(xiàn)良好的操作。關(guān)鍵是在新風(fēng)機(jī)組(增加壓力風(fēng)柜)中進(jìn)行操作;

B.布局靈活。內(nèi)置冷源;

C.適用于尺寸工業(yè)廠房、新舊工業(yè)廠房;

D.維護(hù)頻率低;

E.生產(chǎn)車間噪音低。

  缺陷:

A.必須有小范圍的計(jì)算機(jī)房。必須有閉式冷卻塔。制冷離心泵的位置;

B.制冷機(jī)組和中央空調(diào)應(yīng)集中布局發(fā)電機(jī)組;

C.工程成本低。特點(diǎn):這種方案可以是一次送風(fēng),也可以是二次送風(fēng),實(shí)際上取決于廠區(qū)的具體情況;這種方案一般可以適用于凈化無塵車間/工業(yè)廠房,如千級(jí)、千級(jí)、十萬級(jí)。

3.分體式空調(diào)柜+FFU正壓送風(fēng)口分析電子光學(xué)微電子領(lǐng)域凈化建筑工程設(shè)計(jì)方案。

這也是一個(gè)簡單的中央空調(diào)計(jì)劃方案。分體式空調(diào)柜機(jī)立即布置在生產(chǎn)車間,采用彩性圍護(hù)結(jié)構(gòu),然后在柜式空調(diào)回風(fēng)管上切割回風(fēng)管(帶初始濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置在天花板上。本計(jì)劃適用于無塵車間,對房間內(nèi)溫濕度記錄精度要求較低。

  優(yōu)勢:

A.不占用計(jì)算機(jī)房總面積,布局靈巧;

B.能達(dá)到氣體的清潔度;

C.工程造價(jià)最低。這種無塵車間的初始項(xiàng)目投資必須在40萬左右;

d.排氣勻稱性好。

  缺陷:

A.溫濕度記錄操作弱;

B.能達(dá)到氣體的清潔度;

C.FFU檢修頻率高。

4.無塵車間在電子光學(xué)微電子領(lǐng)域凈化建筑工程設(shè)計(jì)方案分析的特點(diǎn)。
電子光學(xué)無塵室

A.無塵車間的清潔度:

LCD屏幕制作的簡單步驟是:清潔→包裝印刷趨勢膜→摩擦→密封包裝印刷層擴(kuò)散墊→組成→畫線和激光切割→LC介紹→粘貼偏振片→屏幕制作最終檢查。

本設(shè)計(jì)方案是指一些終端加工工藝的無塵車間,其凈化清潔度一般為1000級(jí)或10000級(jí)。背光屏無塵車間主要是這類商品的沖壓加工生產(chǎn)車間。組裝等無塵車間,其清潔度一般為1000級(jí)或10000級(jí)。

B.室內(nèi)空氣質(zhì)量主要參數(shù)規(guī)定:

(1)溫濕度記錄規(guī)定:溫度一般為24+2℃,空氣濕度為55+5%。

(2)排氣量大。由于此類生產(chǎn)車間工作人員較多,可根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)值獲得以下最高值:非單向流動(dòng)潔凈室總排氣量的10-30%;補(bǔ)償房間通風(fēng)和保持房間正壓值所需的新鮮空氣量;確保每小時(shí)新鮮空氣量≥40m3/h。

(3)排氣量大。為了更好地達(dá)到潔凈室的潔凈度和熱濕平衡,必須有大量的送排風(fēng)量。在300㎡的生產(chǎn)車間,天花板高度為2.5米。如果是千級(jí),送排風(fēng)量必須是300×2.5×30=22500m3/h(通風(fēng)次數(shù)為≥25次/h);如果是10萬級(jí),送排風(fēng)量必須是300×2.5×20=15000m3/h(通風(fēng)次數(shù)為≥15次/h)。

分析電子光學(xué)微電子領(lǐng)域凈化建筑工程設(shè)計(jì)方案。

對于基本電子設(shè)備工業(yè)廠房潔凈室中央空調(diào)的設(shè)計(jì)方案,應(yīng)根據(jù)電子設(shè)備車間的生產(chǎn)工藝標(biāo)準(zhǔn)和招標(biāo)人的社會(huì)經(jīng)濟(jì)標(biāo)準(zhǔn)采用哪種暖通空調(diào)設(shè)計(jì)方案,以滿足生產(chǎn)工藝的需要為前提。根據(jù)以往的工作經(jīng)驗(yàn),可采用組合新風(fēng)機(jī)組集中運(yùn)輸?shù)闹醒肟照{(diào)方案,初始項(xiàng)目投資低,可采用柜式空調(diào)+FFU??傊?,實(shí)際的計(jì)劃選擇取決于實(shí)際情況。

二、過濾效率:

過濾0.1μm顆粒。
電子光學(xué)無塵室

三、商品特點(diǎn):

1.凈化無塵車間/工業(yè)廠房墻體。頂家具板一般采用50mm厚的夾層彩鋼板制造,美觀大方,剛度強(qiáng)?;⌒螇δ_、門窗一般采用專用空氣氧化鋁合金型材制造。

2.環(huán)氧樹脂自流坪環(huán)氧地板或高檔耐磨塑料地板可用于路面。如果有抗靜電標(biāo)準(zhǔn),可以使用抗靜電型。

3.送回風(fēng)口采用熱渡鋅板制成,貼防火型PF聚氨酯泡沫塑料板,用于凈化保溫。

4.高效出風(fēng)口采用不銹鋼板結(jié)構(gòu),清洗美觀大方。沖孔網(wǎng)板采用烤漆工藝鋁合金板,不銹不粘塵,應(yīng)清洗。

四、應(yīng)用場地:

制藥工業(yè)生產(chǎn).醫(yī)院門診(診所.無菌病房)食品潔凈車間.護(hù)膚品.飲料商品生產(chǎn)制造.潔凈廠.理化檢測室.血庫等,腸道致病菌.分子生物學(xué).潔凈實(shí)驗(yàn)室.萬物工程(重組遺傳基因.疫苗生產(chǎn))等領(lǐng)域。

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