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十萬級集成電路凈化廠房設(shè)計施工

來源:http://kanfort.cn/ 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時間:2023-07-06 10:04

十萬級集成電路凈化廠房設(shè)計施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事集成電路凈化廠房工程規(guī)劃,設(shè)計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

十萬級集成電路凈化廠房達(dá)到潔凈度等級的條件

卓為凈化在十年的成長歷程中,凝聚了一大批專業(yè)、較真的技術(shù)人才及一百多位施工工藝優(yōu)良的技術(shù)工人。能為您的凈化及空調(diào)項目高效、高質(zhì)完成提供堅實的保障。我們專業(yè)設(shè)計、醫(yī)院凈化工程,手術(shù)室改造,婦產(chǎn)科潔凈室,施工百級凈化、千級凈化、萬級凈化、十萬級凈化、三十萬級凈化的無塵凈化空間。下面為大家介紹達(dá)到潔凈度等級的條件
凈化廠房
凈化廠房要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施,而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施:不但要有合理的設(shè)計,而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝,以及正確的使用凈化廠房和科學(xué)的維護管理。為使凈化廠房獲得良好的效果,國內(nèi)外已有不少文獻(xiàn)從不同的角度作過闡述。實際上,不同專業(yè)之間很難做到理想地配合,而且設(shè)計者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況,尤其后者。就凈化廠房凈化措施而言,許多設(shè)計者,或者還有施工方,往往對其必要條件未予足夠重視,造成潔凈效果不理想。本文僅就凈化廠房凈化措施中達(dá)到潔凈度要求的四個必要條件簡要論述
一、送風(fēng)潔凈度
要保證送風(fēng)潔凈度符合要求,關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級過濾器的性能和安裝
凈化系統(tǒng)末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標(biāo)準(zhǔn)[1]規(guī)定高效過濾器效率分四檔:A類為≥99.9%,B類為≥99.9%,C類為≥99.999%,D類為(對≥0.1μ
m粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器);亞高效過濾器[2]為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高,過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應(yīng)本著既要滿足送風(fēng)潔凈度要求,又要考慮經(jīng)濟合理。從潔凈度要求考慮,以低級別凈化廠房選用低性能過濾器、高級別凈化廠房選用高性能過濾器為原則。一般說來:100萬級可選用高中效過濾器;低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬~百級:選用B類過濾器;100~一級:選用C類過濾器。這里每個潔凈度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇,選擇高性能的還是低性能的,要視具體情況而定:當(dāng)環(huán)境污染嚴(yán)重,或室內(nèi)排風(fēng)比例很大,或該凈化廠房特別重要,需要較大安全系數(shù),在這些或其中之一情況下,均要選擇高一類過濾器;反之可選擇較低性能過濾器。對0.1μm粒子要求控制的凈化廠房,不論控制的粒子濃度高低均要選擇D類過濾器。以上所述僅從過濾器角度出發(fā),實際上要選擇好過濾器還要全面考慮凈化廠房特性、過濾器特性和凈化系統(tǒng)特性
要保證送風(fēng)潔凈度,僅有合格的過濾器是不夠的,還要保證:a.運輸、安裝過程不損壞過濾器;b.安裝嚴(yán)密。要做到第a,則要求施工安裝人員訓(xùn)練有素,既要有安裝凈化系統(tǒng)方面的知識,又要具備較熟練的安裝技能,否則將難以保證不損壞過濾器,這方面是有深刻教訓(xùn)的。其次,安裝嚴(yán)密性問題,主要取決于安裝結(jié)構(gòu)型式優(yōu)劣,設(shè)計手冊[4]一般推薦:對于單個過濾器采用明裝型式,這樣即便發(fā)生滲漏,也不致漏到室內(nèi);采用成品高效送風(fēng)口,嚴(yán)密性也比較容易得到保證。對于多個過濾器的風(fēng)□,近幾年常采用液槽密封和負(fù)壓密封。液槽密封必須保證液槽接縫嚴(yán)密和整體框架都處于同一水平面上。負(fù)壓密封就是使過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負(fù)壓狀態(tài),與明裝型式一樣即使?jié)B漏也不會漏到室內(nèi)。實際上只要做到安裝框架平整,過濾器端面與安裝框架接觸均勻,任何安裝型式使過濾器達(dá)到安裝嚴(yán)密性要求應(yīng)該說是不難的
二、氣流組織
凈化廠房的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同,它要求將干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此,在設(shè)計氣流組織時應(yīng)考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區(qū)的氣流要盡量均勻,且其風(fēng)速要滿足工藝和衛(wèi)生要求,當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風(fēng)方式
不同的氣流組織,各有其特點和范圍
1)垂直單向流:均可獲得均勻向下氣流,便于工藝設(shè)備布置,自凈能力強,可簡化人身凈化設(shè)施等共同設(shè)施等共同優(yōu)點外,四種送風(fēng)方式還有其各自優(yōu)缺點:滿布高效過濾器具有阻力低、更換過濾器周期長等優(yōu)點,但頂棚結(jié)構(gòu)復(fù)雜,造價高;側(cè)布高效過濾器頂送、全孔板頂送與滿布高效過濾器頂送的優(yōu)缺點相反,其中全孔板頂送在系統(tǒng)非連續(xù)運行時,孔板內(nèi)表面易積塵,維護不好,對潔凈度有些影響;密集散流器頂送,因需要一段混和層,所以只適用于4m以上高大凈化廠房,其特點與全孔板頂送相仿;對于相對兩側(cè)格柵的板和相對兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口的回風(fēng)方式僅適用兩側(cè)凈間距小于6m的凈化廠房;單側(cè)墻下部布回風(fēng)口僅適用對墻間距較小(如≤<2~3m)的凈化廠房
2)水平單向流:只在第一工作區(qū)達(dá)到百級:潔凈度,當(dāng)空氣流向另一側(cè)的過程中含塵濃度逐漸升高,所以僅適用于同一房間工藝過程有不同潔凈度要求的凈化廠房;送風(fēng)墻局部布高效過濾器較滿布水平送可減少高效過濾器用量,節(jié)約初投資,但局部區(qū)域有渦流
3)亂流型氣流:孔板頂送和密集散流器頂送的特點與前述相同:側(cè)送的優(yōu)點易于管道布置,無需技術(shù)夾層,造價低,有利于舊廠房改造,缺點是工作區(qū)風(fēng)速較大,下風(fēng)側(cè)比上風(fēng)側(cè)含塵濃度高;高效過濾器風(fēng)口頂送具有系統(tǒng)簡單、高效過濾器后無管道、潔凈氣流直接送達(dá)工作區(qū)等優(yōu)點,但潔凈氣流擴散緩慢,工作區(qū)氣流較均勻;不過當(dāng)均勻地布置多個風(fēng)口或采用帶擴散板地高效過濾器風(fēng)口時,也可使得工作區(qū)氣流較均勻;但在系統(tǒng)非連續(xù)運行地情況下,擴散板易積塵
以上論述均屬于較理想狀態(tài),也是國家有關(guān)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)或設(shè)計手冊所推薦。實際工程中或受限于客觀條件,或由于設(shè)計者地主觀原因而未設(shè)計好氣流組織,常見的有:垂直單向流采取相鄰兩側(cè)墻下部回風(fēng),局部百級采用上送上回(即局部送風(fēng)口下未加下垂圍簾),亂流型凈化廠房采用高效過濾器風(fēng)口頂送上回或單側(cè)下回(對墻間距較大)等,這些氣流組織方式經(jīng)實測,其潔凈度大多數(shù)都達(dá)不到設(shè)計要求。由于現(xiàn)行規(guī)范[6]規(guī)定空態(tài)或靜態(tài)驗收,個別的這類凈化廠房在空態(tài)或靜態(tài)下勉強達(dá)到設(shè)計的潔凈度級別,但抗污染干擾能力很低,一旦凈化廠房進(jìn)入工作狀態(tài)就達(dá)不到要求。正確的氣流組織局部區(qū)域應(yīng)設(shè)圍簾下垂至工作區(qū)高度,10萬級也不應(yīng)采用上送上回。還有目前大多數(shù)工廠生產(chǎn)的帶擴散板的高效送風(fēng)口,其擴散板都只是裝飾性孔板而不起擴散氣流作用,請設(shè)計者和用戶要特別注意
三、送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當(dāng)凈化廠房凈高較高時,適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中,100萬級凈化廠房的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮[7],其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮;當(dāng)10萬級凈化廠房高效過濾器集中布置在機房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時,可適當(dāng)提高換氣次數(shù)
對于上述通風(fēng)量推薦數(shù)值筆者認(rèn)為:單向流凈化廠房通過房間截面風(fēng)速偏低,亂流型凈化廠房是有較充分安全系數(shù)的推薦值。垂直單向流≥0.25m/s,水平單向流≥0.35m/s,在空態(tài)或靜態(tài)下檢測潔凈度,雖然能達(dá)到要求,但抗污染能力較差,一旦室內(nèi)進(jìn)入工作狀態(tài),潔凈度就可能達(dá)不到要求,這類實例已不屬于個別;同時,我國通風(fēng)機系列中尚未有較適合凈化系統(tǒng)用的風(fēng)機,一般設(shè)計者又往往對系統(tǒng)空氣阻力未作準(zhǔn)確計算,或未注意到所選用的風(fēng)機是否處于特性曲線上比較有利的工作點,使得系統(tǒng)在投入運行后不久,風(fēng)量或風(fēng)速就達(dá)不到設(shè)計值
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(FS209A~B)在1987年10月27日之前一直這樣規(guī)定:單向流凈化廠房通過凈化廠房截面的氣流速度通常保持在9Oft/min(0.45m/s),在整個房間無干擾的條件下,其速度不均勻度在士20%以內(nèi),氣流速度任何明顯的下降都會增加自凈時間和工作位置之間污染影響的可能性(1987年10月FS209C頒布之后對含塵濃度以外的所有參數(shù)指標(biāo)均未作規(guī)定)。為此,筆者認(rèn)為宜適當(dāng)提高目前國內(nèi)對單向流速度的設(shè)計值,我們單位在實際工程中照此做了,效果還是比較好的。亂流型凈化廠房是有較充分安全系數(shù)的推薦值,但許多設(shè)計者仍不放心,在做具體設(shè)計時將10萬級凈化廠房通風(fēng)量加大到20~25次/h,1萬級加大到30~40次/h,千級:加大到60~70次/h,這樣做不僅加大了設(shè)備容量、加大了初投資,也增加了日后維護管理費用,實際上也沒有必要這樣做。在編制我國空氣潔凈技術(shù)措施[7]時曾調(diào)查測定了國內(nèi)100多個凈化廠房,許多凈化廠房還是在動http://www.iwuchen.com/態(tài)下檢測的,結(jié)果表明:10萬級≥10次/h、1萬≥20次/h、1000級≥50次/h通風(fēng)量即可滿足要求。美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(FS2O9A~B)規(guī)定:非單向流凈化廠房(10萬級、1萬級),室高8~l2ft(2.44~3.66m),通??紤]全室至少每3分鐘換氣一次(即20次/h)。因此,設(shè)計規(guī)范的規(guī)定[6]已經(jīng)考慮了較大的富裕系數(shù),設(shè)計者完全可以放心地按照表1通風(fēng)量地推薦值選用
四、靜壓差
凈化廠房維持一定的正壓是保證凈化廠房不受或少受污染、以維持設(shè)計潔凈度等級必不可少地條件之一。即便是負(fù)壓凈化廠房,它也必須有不低于它潔凈度級別地相鄰房間或套間維持一定地正壓,負(fù)壓凈化廠房的潔凈度才能得以維持
凈化廠房正壓值是指門窗全部關(guān)閉狀態(tài)下,室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過凈化系統(tǒng)送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方法來達(dá)到。為了保證凈化廠房正壓值,送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)機好聯(lián)鎖,系統(tǒng)開啟時先啟動送風(fēng)機,再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機;系統(tǒng)關(guān)閉時先關(guān)排風(fēng)機,再關(guān)回風(fēng)機和送風(fēng)機,以防止凈化廠房在系統(tǒng)開啟和關(guān)閉時受到污染
維持凈化廠房正壓所需的風(fēng)量主要根據(jù)維護結(jié)構(gòu)密閉性好壞來確定。我國凈化廠房建設(shè)初期由于圍護結(jié)構(gòu)密閉性較差,要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風(fēng)量;目前維護結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高,維持同樣的正壓只要1~2次/h送風(fēng)量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風(fēng)量
我國設(shè)計規(guī)范[6]規(guī)定:不同等級的凈化廠房以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于0.5mmH2O(~5Pa),潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于1.OmmH2O(~l0Pa)。筆者認(rèn)為該值似偏低,原因有三:1.正壓是表示凈化廠房抑制通過門窗縫隙污染室內(nèi)空氣的能力,或在短時間打開門窗時使?jié)B入室內(nèi)的污染物減少到低限度的能力,正壓大小表示抑制污染能力的強弱,當(dāng)然不是正壓越大越好(后面將談到)。2.正壓所需的風(fēng)量有限,5Pa正壓與10Pa正壓所需風(fēng)量僅差約1次/h,何樂而不為呢?顯然正壓值低限取l0Pa更優(yōu)越些。3.美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(FS209A~B)規(guī)定:當(dāng)所有出入口關(guān)閉時,凈化廠房與任何相鄰的低潔凈度區(qū)域之間的低正壓差為0.05英寸水柱(12.5Pa),這數(shù)值已被許多國家采用
總結(jié)但凈化廠房的正壓值并非越大越好,根據(jù)本單位多年實際工程檢測表明當(dāng)正壓值時,開門就比較困難,關(guān)門稍不留意,砰一聲嚇人一跳當(dāng)正壓值時,門窗縫隙就會發(fā)出哨音,體弱者或有某種不適應(yīng)癥者不適感覺。可是國內(nèi)和國外許多國家的有關(guān)規(guī)范或標(biāo)準(zhǔn)均未規(guī)定正壓的上限值,這樣的結(jié)果許多單位都只求下限值滿足要求,而不管上限值達(dá)到多少,在筆者遇到的實際凈化廠房中正壓值有高達(dá)以上,造成很不好的效果。實際上調(diào)整正壓并不是一件很難的事,把它控制在一定范圍內(nèi)是完全可能的。曾有文獻(xiàn)介紹東歐某國將正壓值規(guī)定為約

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十萬級集成電路凈化廠房在設(shè)計時要滿足哪些規(guī)范要求

在產(chǎn)品的生產(chǎn)制造中,需要用到凈化廠房,凈化廠房指的就是將有毒有害有細(xì)菌污染的空氣,排放出室內(nèi),以適應(yīng)我們生產(chǎn)工藝或工作的要求。那么,凈化廠房在設(shè)計時要滿足哪些規(guī)范要求
1、凈化廠房設(shè)計必須嚴(yán)格按照國家相關(guān)政策方針執(zhí)行,做到科學(xué)設(shè)計、質(zhì)量保證、安全適用、節(jié)約能源和環(huán)境保護等要求
2、在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時,無塵凈化車間設(shè)計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求,因地制宜、區(qū)別對待,充分利用已有的技術(shù)設(shè)施
3、凈化廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、維護管理、測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件
4、凈化廠房設(shè)計除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外,尚應(yīng)符合現(xiàn)行的 標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的相關(guān)要求

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十萬級集成電路凈化廠房設(shè)計的幾大要點

凈化廠房設(shè)計是一項非常重要的工作,設(shè)計工作做得如何,直接關(guān)系著后續(xù)的工作能否正常的開展,因此,這一個方面是引起了很多的朋友們的關(guān)注的。在進(jìn)行設(shè)計工作的時候要想起到一個更好的設(shè)計效果,那么關(guān)于設(shè)計過程當(dāng)中的幾大要點是一定要引起人們的重視的。下面就來為大家詳細(xì)的介紹一下凈化廠房設(shè)計的幾大要點都包括哪些方面
1、做好平面布局
在設(shè)計的過程當(dāng)中一定要注意做好平面布局的工作,這可以說是在設(shè)計的時候所具有的一級屏障,是非常重要的。在具體設(shè)計的時候,一定要根據(jù)所提供的場地來進(jìn)行相應(yīng)的工作,各個板塊的分區(qū)要明確和靈活,要更好的應(yīng)用現(xiàn)有的空間,做到一個更加合理的布局效果,只有這樣才能夠在后續(xù)工作中起到更大的作用
2、做好圍護結(jié)構(gòu)以及裝潢裝飾的設(shè)計
需要注意做好圍護結(jié)構(gòu)以及裝潢裝飾的相關(guān)設(shè)計工作,這也是一個重要的方面。在對凈化廠房進(jìn)行設(shè)計的時候,內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和裝潢裝飾也是一個重要的方面,把這些方面設(shè)計好了之后,才能夠為凈化廠房打造一個更好的工作環(huán)境,對于提升在內(nèi)部作業(yè)的效率而言也是具有很大的幫助的,因此在設(shè)計的過程當(dāng)中這一個方面也是不能夠忽略的
不管怎么樣,在進(jìn)行凈化廠房設(shè)計的時候這些要點都是必須要注意遵守的,只有這樣才能夠讓自己的工作變得更加的成功,讓設(shè)計的車間也更加成功

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十萬級集成電路凈化廠房中央空調(diào)安裝值得注意的細(xì)節(jié)

如今市面上有很多,炎熱的夏季即將來臨,空調(diào)成為了不能缺少的東西,那么針對空調(diào)的安裝,又有哪些細(xì)節(jié)值得注意呢?下面就跟隨小編的介紹,一起去了解一下
首先,在安裝的時候必須要確定好封口以及內(nèi)機的數(shù)量和位置,畢竟每個室內(nèi)空間面積大小存在一定的差異,這個時候必須要多多考慮整體空間面積,才能將空調(diào)的安裝發(fā)揮一個更好的效果,使得后期使用更加便利
其次,注重空調(diào)布局,專業(yè)正規(guī)的都會提前制定一個完善的安裝計劃,這個時候讓空調(diào)在運行使用過程當(dāng)中更加舒適和便利。要知道空調(diào)的布局直接影響到了后期的使用
在此提醒各位小伙伴們,不管是家中還是辦公室安裝中央空調(diào),都必須要選擇,因為并非所有空調(diào)企業(yè)都能安裝中央空調(diào),也并非所有的安裝人員都具備了過硬的空調(diào)安裝專業(yè)知識以及豐富的安裝施工經(jīng)驗,挑選正規(guī)企業(yè)是非常關(guān)鍵的,這樣才能擁有一個完美的安裝效果,帶給自己舒適便捷的享受

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十萬級集成電路凈化廠房裝修時需要注意哪些問題

凈化廠房是現(xiàn)在工業(yè)中必不可少的生產(chǎn)環(huán)境之一,如今很多企業(yè)或者工廠都有建設(shè)凈化廠房的打算,但建造一個凈化廠房不是一個簡單的事情,特別是在裝修上是非常重要的,如果裝修不當(dāng),會給后期使用的時候帶來諸多麻煩,那么,凈化廠房裝修時需要注意哪些問題呢
凈化廠房裝修注意事項
首先,在對于凈化廠房的頂部進(jìn)行處理時,也要根據(jù)企業(yè)的生產(chǎn)需求選擇相應(yīng)的裝修材料,因為每個凈化廠房裝修的要求都不一樣,因此在裝修時,不能一概而論,主要是要根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)的具體需求,具體生產(chǎn)需要的參數(shù)來進(jìn)行裝修,只用這樣的凈化廠房才是真正的滿足企業(yè)生產(chǎn)的需求
其次,在裝修凈化廠房時,要根據(jù)生產(chǎn)企業(yè)的需求來進(jìn)行,從凈化廠房的地面裝修,到頂部處理,再到墻面的處理,在裝修的時候一定要按照企業(yè)的生產(chǎn)工藝來進(jìn)行,只有這樣才能達(dá)到企業(yè)生產(chǎn)的需求,才能讓凈化廠房的各項數(shù)據(jù)都達(dá)標(biāo),這就是在凈化廠房裝修時必須要注意的
其次,凈化廠房在裝修的時候,對于地面的處理,一定要做到位,凈化廠房本身就是一個隔離各種空氣中的有害物質(zhì),因此對于靜電也是必須要進(jìn)行隔離的,因此在選擇凈化廠房的地面裝修材料時,必須要選擇防靜電材質(zhì)的地面材料,也只有如此才能真正的隔絕靜電
以上、就是凈化廠房裝修時需要注意的事情,希望對大家有所幫助

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