萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間設(shè)計(jì)要求及費(fèi)用報(bào)價(jià)清單

前言

中國(guó)大力支持半導(dǎo)體材料的發(fā)展趨勢(shì)，半導(dǎo)體器件的純化是半導(dǎo)體元件發(fā)展趨勢(shì)的主要基礎(chǔ)。由于集成電路工藝集成電路的規(guī)模和技術(shù)規(guī)定，為了獲得高純度的光伏材料，原材料和中間載體的高純度和生產(chǎn)工藝的潔凈度已成為危害產(chǎn)品質(zhì)量的突出問(wèn)題。自20世紀(jì)50年代以來(lái)，芯片可能經(jīng)歷了三個(gè)發(fā)展趨勢(shì)：在美國(guó)創(chuàng)造發(fā)明和起源——加速日本的發(fā)展趨勢(shì)——在韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣的完美分裂。前兩個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)之所以遷移，是因?yàn)槿毡驹赑CDRAM銷售市場(chǎng)上得到了美國(guó)的認(rèn)可；韓國(guó)已成為PCDRAM的新的關(guān)鍵運(yùn)營(yíng)商，中國(guó)臺(tái)灣已成為鑄造行業(yè)，芯片密封行業(yè)已成為OEM生產(chǎn)的領(lǐng)導(dǎo)者?，F(xiàn)在，中國(guó)已經(jīng)成為世界上擁有大型半導(dǎo)體材料的銷售市場(chǎng)。在當(dāng)前強(qiáng)勁的需求和強(qiáng)大的政策的推動(dòng)下，芯片領(lǐng)域正在向內(nèi)地轉(zhuǎn)移集成電路芯片的合格率與芯片的相對(duì)密度有關(guān)，芯片的相對(duì)密度與空氣中顆粒的數(shù)量有關(guān)。因此，集成電路的快速發(fā)展趨勢(shì)不僅對(duì)空氣中顆粒的規(guī)格和尺寸有較高的規(guī)定，而且需要對(duì)集成電路工作環(huán)境的工作環(huán)境進(jìn)行進(jìn)一步的操作。

工程介紹

10000級(jí)集成電路無(wú)塵車間是滿足半導(dǎo)體制造工藝要求的潔凈室。與其他工業(yè)清潔車間相比，對(duì)環(huán)境清潔度、溫度和濕度、振動(dòng)、ESD和AMC控制的要求更為嚴(yán)格。一般來(lái)說(shuō)，電子集成電路無(wú)塵車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60%之間（特殊無(wú)塵車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，靜電可以有效消除，人們可以感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室、磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品的制造，在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量有著極其嚴(yán)格的要求，主要是控制顆粒和浮塵，并對(duì)其環(huán)境的溫度、濕度、新鮮空氣量和噪聲作出了嚴(yán)格的規(guī)定。今天，讓我們來(lái)談?wù)劶呻娐窡o(wú)塵車間的規(guī)劃設(shè)計(jì)。

一  萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間凈化參數(shù)要求

1.潔凈度：萬(wàn)級(jí)
2.換氣次數(shù)：≥20次   
3.平均風(fēng)速： 0.3—0.5米每秒
4.溫度：22℃左右
5.相對(duì)濕度：50-60%
6.噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
7.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了
8.萬(wàn)級(jí)集成電路潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa 
9.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值
10.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和
11.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3

二.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間消防工程

1.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間應(yīng)專門設(shè)計(jì)，主體建筑應(yīng)為一、二級(jí)耐火等級(jí)；吊頂、隔墻等構(gòu)件及保溫、保溫、裝飾材料應(yīng)盡量采用不燃材料或防火材料。

2.其他建筑改造為萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間的，也應(yīng)當(dāng)經(jīng)公安消防部門專門設(shè)計(jì)和審核。一般不得破壞原防火分離、新保溫、保溫、分離等材料和裝飾材料，盡量不使用可燃材料，如需使用，應(yīng)進(jìn)行防火處理。

3.為防止火災(zāi)和燃燒，便于疏散和搶救，防火墻之間的最大允許面積、防火分離和疏散路線一般應(yīng)比其他建筑有更高的要求。出入口或拐角處應(yīng)有緊急照明燈。

4.明火加熱不得用于電子光學(xué)無(wú)塵車間。電加熱必須關(guān)閉，加熱溫度必須嚴(yán)格控制。各種加熱裝置應(yīng)安裝在不燃底座上。

5.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間有易燃易爆物品，電氣應(yīng)符合防爆要求；電氣敷設(shè)和安裝應(yīng)嚴(yán)格要求，暗敷電線不得有接頭。電氣設(shè)備應(yīng)經(jīng)常維護(hù)，使用后應(yīng)及時(shí)切斷電源。對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間打開的電氣設(shè)備，應(yīng)在下班后進(jìn)行巡邏檢查。

6.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間易燃易爆物品僅限于值班用量。下班后，剩余易燃易爆物品應(yīng)存放在其他安全場(chǎng)所。

7.使用易燃液體和氣體的萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間應(yīng)安裝排氣設(shè)備，操作臺(tái)應(yīng)配備獨(dú)立的排氣裝置。易燃液體蒸汽和氣體的排氣管應(yīng)與排氣系統(tǒng)分開。

8.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間的排氣系統(tǒng)。應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或封閉閥。防火閥必須設(shè)置在通過(guò)地板和風(fēng)管穿過(guò)防火墻的總風(fēng)管上。

9.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間應(yīng)有相對(duì)完善的消防設(shè)施。消防報(bào)警裝置和自動(dòng)滅火設(shè)施應(yīng)設(shè)置在凈化車間和技術(shù)管道層。根據(jù)工藝生產(chǎn)的特點(diǎn)和要求、可燃材料的種類和數(shù)量、建筑的耐火等級(jí)等因素，配備必要的滅火設(shè)備。有價(jià)值、高精度儀器和電氣設(shè)備的潔凈室應(yīng)配備二氧化碳、鹵代烷或噴水滅火裝置。走廊上還應(yīng)設(shè)置緊急報(bào)警按鈕和電話號(hào)碼。

濕度控制是集成電路無(wú)塵車間的核心技術(shù)指標(biāo)，與集成電路無(wú)塵車間的生產(chǎn)質(zhì)量有關(guān)，與集成電路無(wú)塵車間的生活有關(guān)。目前，集成電路無(wú)塵車間在濕度控制中，更常用的是工業(yè)加濕器，以實(shí)現(xiàn)對(duì)濕度的智能控制。例如，高壓微霧加濕器。干霧加濕器將根據(jù)不同電子工廠的濕度要求，提供簡(jiǎn)單有效的解決方案，實(shí)現(xiàn)快速加濕和靜電去除。同時(shí)，工業(yè)加濕器具有四個(gè)特點(diǎn)：一是智能控制，簡(jiǎn)單方便。第二，霧化顆粒小，加濕快，蒸發(fā)快，不會(huì)弄濕設(shè)備。員工。第三，它配備了一個(gè)缺水和斷電的保護(hù)裝置。第四，可以是手動(dòng)的。自動(dòng)的。遠(yuǎn)程操作，也可以通過(guò)時(shí)間。濕度。紅外線等控制。工業(yè)加濕器已經(jīng)為全國(guó)許多電子工廠提供了良好的加濕和靜電去除服務(wù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)集成電路無(wú)塵車間濕度的有效控制。

安裝和使用無(wú)塵車間加濕器的注意事項(xiàng)：

1.輸水管道應(yīng)選用耐高壓管道，禁止使用普通管道，不能承受高壓。

2.設(shè)備的安裝首先要確定型號(hào)、數(shù)量、安裝位置、管道方向。

3.安裝時(shí)要注意離車間頂部0.5米，離地面也要有2.5米左右，可以提高噴霧效果。

4.噴嘴周圍沒(méi)有阻擋噴霧的障礙物。

5.管道設(shè)備在安裝過(guò)程中，避免漏水，影響噴霧。

6.噴嘴安裝間隔一般為1米。

7.確定過(guò)濾裝置。軟水裝置安裝正確，使用正常。

四.萬(wàn)級(jí)集成電路無(wú)塵車間費(fèi)用報(bào)價(jià)清單

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作為中國(guó)潔凈室系統(tǒng)工程及設(shè)備制造高品質(zhì)、專業(yè)化的代表，得創(chuàng)秉承“追求完美品質(zhì)、超越客戶期望”的理念，通過(guò)對(duì)客戶生產(chǎn)環(huán)境的深入研究及多年的工程實(shí)踐，積累了豐富的潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)及節(jié)能優(yōu)化設(shè)計(jì)、項(xiàng)目管理及施工經(jīng)驗(yàn)，綜合實(shí)力始終處于業(yè)界領(lǐng)先地位。

公司擁有多名高級(jí)工程師及暖通設(shè)計(jì)工程師，有著醫(yī)藥凈化工程設(shè)計(jì)、食品無(wú)菌食設(shè)計(jì)、電子無(wú)塵車間設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，長(zhǎng)年與設(shè)計(jì)院有著良好的合作和溝通關(guān)系。公司多年專業(yè)從事凈化工程安裝業(yè)務(wù)，擁有數(shù)次在全國(guó)各地有著豐富安裝經(jīng)驗(yàn)的安裝工程隊(duì)伍，在大型管道及彩板安裝方面有著豐富的安裝經(jīng)驗(yàn)和先進(jìn)的現(xiàn)場(chǎng)管理體系。

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