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千級(jí)觸控與指紋識(shí)別芯片半導(dǎo)體潔凈室裝修設(shè)計(jì)

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千級(jí)觸控與指紋識(shí)別芯片半導(dǎo)體潔凈室裝修設(shè)計(jì).得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事芯片潔凈室工程規(guī)劃,設(shè)計(jì),施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
以芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區(qū))除了對(duì)微粒的嚴(yán)格控制外,還對(duì)溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴(yán)格,消除靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達(dá)到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

千級(jí)芯片潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
1.潔凈室必須保持一定的相對(duì)正壓,不同等級(jí)的潔凈車間之間的壓力不得小于5Pa,清潔車間與非清潔車間之間的壓力不小于10Pa,為了防止低級(jí)潔凈車間的空氣流回高級(jí)潔凈車間,溫度應(yīng)保持在18至26攝氏度。
2、最大允許塵粒數(shù),大或等于0.5微米的粒子數(shù)量不得超過1050000,5微米的粒子數(shù)量不得超過60000,最大允許的微生物數(shù)量不得超過每立方米1000。

芯片潔凈室標(biāo)準(zhǔn) 芯片潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
   

千級(jí)芯片潔凈室選址要求及總體設(shè)計(jì)

潔凈室選址要求及總體設(shè)計(jì)  
1.應(yīng)在大氣粉塵濃度較低、自然環(huán)境較好的地區(qū);  
2.遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、機(jī)場(chǎng)、交通干線、工廠、倉庫、堆場(chǎng)等空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾嚴(yán)重的區(qū)域,排放大量粉塵和有害氣體。如果不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重的空氣污染源,應(yīng)位于其最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);  
3.應(yīng)布置在環(huán)境潔凈、人流不穿越或少穿越的廠區(qū)。  
4.對(duì)于具有微振動(dòng)控制要求的凈化項(xiàng)目的位置選擇,應(yīng)實(shí)際測(cè)量周圍現(xiàn)有振動(dòng)源的振動(dòng)影響,并分析比較精密設(shè)備和精密儀器的允許環(huán)境振動(dòng)值。  
5.潔凈室與交通干道之間的距離不宜小于50米。  
6.潔凈室周圍應(yīng)設(shè)置環(huán)形消防車道(可使用交通道路),如有困難,可沿廠房?jī)蓷l長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。  
7.潔凈室周圍的路面應(yīng)選用整體性好、灰塵少的材料。  
8.潔凈室周圍應(yīng)進(jìn)行綠化。草坪可以鋪設(shè),樹木可以種植,對(duì)大氣中的粉塵和農(nóng)業(yè)沒有有害影響,可以形成綠色社區(qū)。但是,不應(yīng)妨礙消防操作。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

千級(jí)芯片潔凈室工藝管道設(shè)計(jì)專要求

潔凈室工藝管道設(shè)計(jì)專要求  
對(duì)于空氣潔凈度有要求的區(qū)域,工藝管道的主管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層和技術(shù)夾層中。需要拆卸、清洗和消毒的管道應(yīng)使用,易燃、易爆和有毒材料的管道也應(yīng)使用。如果敷設(shè)在技術(shù)夾層和技術(shù)夾層中,應(yīng)采取相應(yīng)的通風(fēng)措施。  
干管系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置必要的吹掃口,放凈口和取樣口。  
潔凈管材應(yīng)采用低碳優(yōu)質(zhì)不銹鋼或其它無污染材料。  
工藝管道上的閥門、管件材料應(yīng)與管道材料相適應(yīng)。  
除滿足工藝要求外,潔凈室內(nèi)使用的閥門、管件應(yīng)采用拆卸、清洗、檢修等結(jié)構(gòu)形式。  
管道和設(shè)備應(yīng)采用金屬管連接,如果需要軟管,應(yīng)采用可靠的柔性接管。  
應(yīng)焊接技術(shù)夾層和技術(shù)夾道中的干管連接。  
法蘭、螺紋或其他密封性能優(yōu)異的連接件應(yīng)用于管道與閥門的連接。與材料接觸的法蘭和螺紋應(yīng)用聚四氟乙烯密封。套管穿過潔凈室的墻壁、地板和天花板,套管內(nèi)的管段不得有焊縫、螺紋或法蘭。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。  
潔凈室內(nèi)敷設(shè)管道較少,引入潔凈室的支管應(yīng)暗敷。  
潔凈室內(nèi)的管道應(yīng)排列整齊,盡量減少閥門、管件和管道支架。  
潔凈室內(nèi)的管道應(yīng)根據(jù)其表面溫度、熱量或吸熱量以及環(huán)境的溫度和濕度來確定。冷絕緣管道的外壁溫度不得低于環(huán)境的露點(diǎn)溫度。  
管道保溫層表面必須平整、光滑,不得有顆粒物質(zhì)脫落,并應(yīng)采用金屬外殼進(jìn)行保護(hù)。  
潔凈室內(nèi)管道外壁應(yīng)采取防銹措施。潔凈室內(nèi)的各種管道都設(shè)有標(biāo)明介質(zhì)及其流動(dòng)方向的標(biāo)志。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

千級(jí)芯片潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1、凈化空調(diào)系統(tǒng)所控制的參數(shù)除一般空調(diào)系統(tǒng)的室內(nèi)溫、濕度之外,還要控制房間的潔凈度和壓力等參數(shù),并且溫度、濕度的控制精度較高,有的潔凈室要求溫度控制在±0.1℃范圍內(nèi)等。 
2、凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理過程除熱、濕處理外,必須對(duì)空氣進(jìn)簽訂初效濾、中間中效過濾、末端高效過濾等,高級(jí)別的潔凈室為了有效、節(jié)能地對(duì)送入潔凈室的空氣進(jìn)行處理,采用集中新風(fēng)處理,僅新風(fēng)處理系統(tǒng)便設(shè)有多級(jí)過濾,需要嚴(yán)格需去除空氣中污染物分子時(shí),還應(yīng)設(shè)置各類化學(xué)過濾器?!?br /> 3、潔凈室的氣流分布、氣流組織方面,要盡量限制和減少塵粒的擴(kuò)散,減少二次氣流和渦流,使?jié)崈舻臍饬鞑皇芪廴?,以最短的距離直接送到工作區(qū)?!?br /> 4、為確保潔凈室不受室外污染或鄰室的污染,潔凈室與室外或鄰室必須維持一定的壓差(正壓或負(fù)壓),最小壓差在5Pa以上,這就要求一定的正壓風(fēng)量或一定的排風(fēng)風(fēng)量?!?br /> 5、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)量較大(換氣次數(shù)一般10次至數(shù)百次),相應(yīng)的能耗就大,系統(tǒng)造價(jià)也就高?!?br /> 6、凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理設(shè)備、風(fēng)管材質(zhì)和密封材料根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的不同都有一定的要求;風(fēng)管制作和安裝后都必須嚴(yán)格按規(guī)定進(jìn)行清洗、擦拭和密封處理等?!?br /> 7凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝后應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行調(diào)試和綜合性能檢測(cè),達(dá)到所要求的空氣潔凈度等級(jí);對(duì)系統(tǒng)中的高效過濾器及其安裝質(zhì)量均應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行檢漏等。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

千級(jí)芯片潔凈室通風(fēng)風(fēng)管及附件的清洗標(biāo)準(zhǔn)

通風(fēng)風(fēng)管及附件的清洗標(biāo)準(zhǔn) 
凈化空調(diào)系統(tǒng)工程在施工過程中的風(fēng)管清洗是該系統(tǒng)施工全過程中的重要工序,做好風(fēng)管的清洗,不僅可以控制該系統(tǒng)的潔凈度,同時(shí)還保證高效過濾器的使用壽命,系統(tǒng)運(yùn)行的潔凈度?!?br /> 1清洗用材料 
(1)潔凈空調(diào)風(fēng)管清洗工作所使用的清洗劑、溶劑和抹布應(yīng)符合潔凈室的相關(guān)要求。 
(2)凡用自來水清洗風(fēng)管及零件外表面時(shí),應(yīng)保持水質(zhì)潔凈無雜質(zhì)、泥沙。 
2對(duì)清洗用具的要求 
(1)凡清洗風(fēng)管用的機(jī)具設(shè)備應(yīng)專管專用,不得混作他用,更不得使用清洗風(fēng)管的容器盛裝其他溶劑、油類及污水,并應(yīng)保持容器的潔凈干凈。 
(2)在清洗過程中使用的任保物質(zhì)不得對(duì)人體和材質(zhì)有危害,并應(yīng)保證不帶塵不產(chǎn)塵(如掉渣、掉毛、使用后產(chǎn)生殘跡等)?!?br /> 3作業(yè)條件 
(1)清洗場(chǎng)地要要求封閉隔離,無塵土。清洗場(chǎng)地地面應(yīng)鋪設(shè)干凈不產(chǎn)塵的地面保護(hù)材料(如橡膠板、塑料板等),每天至少清掃擦拭2~3次,保持場(chǎng)內(nèi)干凈無塵?!?br /> (2)清洗場(chǎng)地應(yīng)建立完善的衛(wèi)生及管理制度,對(duì)進(jìn)出人員及機(jī)具、材料、零部件進(jìn)行檢查,符合潔凈要求方可攜帶入內(nèi)?!?br /> (3)清洗、漏光檢驗(yàn)場(chǎng)地可使用廠房進(jìn)行間壁隔離設(shè)置,但應(yīng)符合潔凈無塵源的要求和漏光檢驗(yàn)時(shí)遮光的要求,并便于管理和成品的運(yùn)輸。 
(4)清洗場(chǎng)地應(yīng)配備良好的通風(fēng)設(shè)施,保持良好的通風(fēng)狀態(tài),在風(fēng)管清洗時(shí)(包括槽、罐內(nèi)清洗)應(yīng)具有良好的通風(fēng)方可施工?!?br /> 4作業(yè)過程 
(1)風(fēng)管及部件的清洗一般采用以下順序。 
檢查涂交密封是否合格,如不合格應(yīng)補(bǔ)涂,直至合格?!?br /> 用半于濕抹布擦拭外表面?!?br /> 用潔凈半干擦布擦拭內(nèi)表面浮塵?!?br /> 用三氯乙烯或經(jīng)稀釋的乙醇、活性清洗劑擦拭內(nèi)表面,去掉所有的油層、油漬。 
將擦凈的產(chǎn)品進(jìn)行干燥處理(風(fēng)干或吹干)。 
用白綢布檢查內(nèi)表面清洗質(zhì)量,白綢布揩擦不留任何灰跡、油漬即為清洗合格?!?br /> 立即將產(chǎn)品兩端用塑料薄膜及粘膠帶(50mm寬)進(jìn)行封閉保護(hù),防止外界不凈空氣滲入,嚴(yán)禁使用捆扎方法草草了事。 
(2)專業(yè)技術(shù)人員應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)采用的清洗劑、清洗部位等要求向操作人員進(jìn)行技術(shù)交底,對(duì)第一次進(jìn)廠進(jìn)行該工序操作人員進(jìn)行培訓(xùn)?!?br /> (3)風(fēng)管清洗后,管內(nèi)應(yīng)無油漬、灰跡,應(yīng)以白綢布深入管內(nèi)擦拭,綢布雪白無油漬、灰跡為合格。
5成品保護(hù) 
(1)凡清洗后的產(chǎn)品,兩端應(yīng)用塑料薄膜進(jìn)行封閉保護(hù),工作需要揭開保護(hù)膜,在操作后應(yīng)立即恢復(fù)密封,非工作需要不得擅自揭開保護(hù)膜?!?br /> (2)保護(hù)膜遭破壞應(yīng)及時(shí)修復(fù),保證管內(nèi)潔凈度,否則應(yīng)重新清洗,重新密封處理?!?br /> (3)凡經(jīng)檢查合格應(yīng)加檢驗(yàn)合格標(biāo)志,并妥善存放保管,防止混用。存放場(chǎng)地應(yīng)清掃干凈,鋪設(shè)橡膠板加以保護(hù)。

芯片潔凈室設(shè)計(jì) 芯片潔凈室設(shè)計(jì)
   

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