百級存儲芯片半導體潔凈室設計規(guī)范.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事芯片潔凈室工程規(guī)劃，設計，施工一條路凈化工程公司，歡迎來電咨詢：027-82289886
根據(jù)應用領域和產(chǎn)品的不同，潔凈室也有設計方案上的區(qū)別，因此，電子芯片的潔凈室設計綜合性的改造，只有充分了解電子造業(yè)的各車間功能、生產(chǎn)工藝特點等，經(jīng)合理優(yōu)化的設計，才能創(chuàng)造出符合行業(yè)發(fā)展要求的無塵潔凈環(huán)境，使得電子芯片的生產(chǎn)效率大大提高

換氣次數(shù)：
100000級≥15次；
10000級≥20次；
1000≥30次。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；
溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。
濕度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；
電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；
照度300LX。

1、動態(tài)測試時，潔凈室的噪聲水平不應超過70分貝A。
2、空態(tài)試驗時，亂流潔凈室的噪聲級不應大于60分貝A；層流潔凈室的噪聲水平不應大于65分貝A。
①由于技術和經(jīng)濟條件的限制，或噪聲大于70分貝A如果對生產(chǎn)沒有影響，可以適當放寬噪聲級別，但不應大于75分貝A；
②上述噪聲水平是指在室內每個工作點（人員離開）中人耳位置的測量值。對于改變噪聲，在正常工作日內在同一位置的等效連續(xù)聲壓水平。
對于潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用雙頻程聲壓級；每個頻帶的聲壓級值不應大于。潔凈室的平面、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護結構應具有良好的隔音性能，并應使各部分隔音量接近。
低噪聲產(chǎn)品應用于潔凈室的各種設備。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備，應設置專門的隔音設施(如隔音室、隔音罩等。
凈化空調系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應采取隔音、消聲、隔振等控制措施。
除事故排氣外，潔凈室內的排氣系統(tǒng)進行降噪設計。
3、凈化空調系統(tǒng)，根據(jù)室內噪聲等級的要求，風管內的風速應按以下規(guī)定選擇：
①總風管6-10米/秒；
②無送回風口的文風管為6~8米/秒；
4、有送回風口的文風管為3~6米/秒。
清潔工廠的噪聲控制設計必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求，不得因噪聲控制而影響潔凈室的凈化條件。

潔凈室安裝現(xiàn)場施工管理規(guī)范　
為使項目按時完成，我公司將根據(jù)項目法施工的要求，配備了解技術、良好管理、具有多種類似項目施工經(jīng)驗的管理人員，進行全過程、全方位的規(guī)定、組織、控制和協(xié)調?，F(xiàn)場施工管理分為三個階段，確?，F(xiàn)場環(huán)境衛(wèi)生的有效控制，以滿足項目完成時的潔凈要求?！?br /> 1、第一階段：要求一般污染控制　
在本階段開始前，除設備進入預留孔外，還應完成建筑的門窗和內部油漆。本階段可定義為天花板安裝前的防塵涂層、空調機組安裝、動力設備、一次管道和配電（電纜橋和電氣管道）、墻板和天花板的龍骨安裝等工作內容?！?br /> 管理規(guī)定：　
1)所有進入潔凈廠房的人員，必須接受本階段管理規(guī)定的培訓，并佩戴相應的胸徽(準入證)入室；　
2)進入潔凈廠房時要穿干凈的鞋，不能帶油漬、污泥進入；　
3)不允許在室內吸煙、飲食和飲水；　
4)必須控制焊接、切割、鑿洞等有塵作業(yè)，防止碎屑大規(guī)模擴散，每天工作結束時將垃圾搬出室外倒入規(guī)定處；　
5)建筑材料堆放整齊；　
室內禁止大小便；　
7)違反上述規(guī)定的，應立即取消在潔凈廠房工作的資格。　
2、第二階段：污染控制要求較高　
這一階段可以定義為第一階段后和吹掃前的操作過程。墻板、吊頂板安裝、壁板安裝、燈具安裝等工作內容，采用局部擦洗、真空吸塵等方法進行全面徹底的潔凈。　

1、管道涂色
●管道涂裝前必須經(jīng)過試壓，試漏合格后才能進行；
●不保溫管先做防銹處理，再刷銀灰漆涂色環(huán)；
●保溫管末端保溫前涂兩次紅丹底漆，保溫管涂兩次冷底油，保溫后加色環(huán)。
●埋地管道先涂冷底油，再涂瀝青，外包玻璃布保護層，再填土；
●不銹鋼管、塑料管均不涂漆，直接涂色環(huán)；
●所有法蘭和螺栓的顏色與筒道的顏色一致；
2、質量要求
●管道連接焊接采用亞電弧焊接，焊接后焊縫外表面采用不銹鋼絲刷清洗。焊接前應進行規(guī)格管道的試焊，試焊焊接合格后方可進行正式焊接。
●隱蔽管道的焊接是關鍵工序，必須嚴格控制。
●管道支架符合設計要求和施工規(guī)范要求。
●竣工后和交付前進行吹掃。

潔凈室工業(yè)廢氣管道安裝規(guī)范
工業(yè)氣體管道的主管道應敷設在技術夾層和技術夾層中。氫氣和氧氣管道應明確應用。如果敷設在技術夾層和技術夾層中，應采取良好的通風措施。應使用干凈的支管。
一、高純氣體管道設計，應滿足以下要求：
1.根據(jù)計算確定管徑。
2.管道系統(tǒng)應盡可能短。
3.不宜設置預留口。
4.不應出現(xiàn)盲管等不易吹除的部位。
5.主管不支管上應設置吹除口。
6.管道系統(tǒng)上應設置吹除口。
6.1.氣體管穿過潔凈室墻壁或地板，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不得有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
6.2.放散管應設置在氫氣和氧氣管道的末端或最高點。在防雷保護區(qū)內，放散管應高出屋脊1米。
6.3.氣體凈化裝置應根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一規(guī)劃的要求進行選擇。氣體凈化裝置應設置在氣體使用點附近。
6.4.氣體過濾器應根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高效氣體過濾器應安裝在高純度氣體管道中。
二、管道材料、閥門及附件
管材應根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，按以下規(guī)定選用：
1.氣體純度或等于99.不銹鋼管應使用999%。
2.氣體純度大于或等于999.不銹鋼管、銅管、無縫鋼管應在99%時使用。
3.氣體純度小于99.無縫鋼管可用于99%。
4.金屬管道應用于管道與設備的連接段；如果是非金屬軟管，應使用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不能使用乳膠管。
4.1.高純度氣體管道應采用密封性能好的低門及附件，其材料應與管道相適應。閥門的密封圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯。閥門的填充材料應為聚四氟乙烯。
4.2.用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料連接高純氣體管道和附件的密封墊。
三、管道連接和清洗
1.管道連接應采用焊接，高純度氣體管道應采用承插焊接。
2.管道與設備、閥門的連接處，應采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)異的連接件。用聚四氟乙烯帶密封螺紋。
3.高純氣體管道內壁、閥門及附件安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。
4.安全技術
四、工業(yè)氣體管道設計的安全技術， 應符合下列規(guī)定；
1.回火防止器應設置在氫氣管道的支管和放散管上。
2.氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。
3.各種氣體管道應設置明顯的標志。
3.1.潔凈室內使用氫氣時，應在室內設置報警裝置。
3.2.潔凈室外應設置各種氣瓶，當日用氣量不超過一瓶時，可在潔凈室內設置氣瓶。

武漢得創(chuàng)凈化工程有限公司——清潔室空氣凈化行業(yè)協(xié)會會生企業(yè)，潔凈技術專家委員會主任委員單位，電子潔凈技術委員會主任委員企業(yè)，公司有著多種發(fā)明專利潛心無塵車間、診室、實驗室凈化處理去濕防靜電工程、通風空調工程、自動化技術控制技術。業(yè)務流程包含電子器件、藥業(yè)、化工廠、食品類、儀器儀表、金屬、光學、處理芯片、半導體材料、鋰電池光伏新能源、航空公司、核電廠等民用型行業(yè)。公司注冊資本3100萬余元，其前身為中航院潔凈技術研究所，創(chuàng)立于1989年9月。
　公司內設九部一辦，轄16個省份工作部門。很多年來，公司一直堅持“誠實守信贏領將來”的企業(yè)發(fā)展理念和“遵紀守法誠實守信、以以德治國企、創(chuàng)新管理、改革創(chuàng)新”的公司發(fā)展戰(zhàn)略方針，借助機器設備，深厚的工藝能力和充足的作業(yè)工作經(jīng)驗，潛心電子器件、半導體材料、鋰電池、太陽能發(fā)電、光學、金屬、新能源技術、精密的機器設備、藥業(yè)、化工廠、食品類、航空公司、核電廠等行業(yè)無塵車間、潔凈廠房、診室、實驗室等潔凈室工程、防靜電工程項目、通風空調工程、自動化技術控制技術。20很多年來在國內各地承包完成了數(shù)家潔凈廠房、無塵車間、凈化手術室、實驗室等凈化室凈化工程實例，每個工程項目都以安全性、迅速遭受顧客和世界各國權威專家的一致五星好評。