半導(dǎo)體無(wú)塵車間管理制度整理

1．0無(wú)塵車間管理的目的

半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程對(duì)車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn)，必須對(duì)潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過(guò)程等進(jìn)行控制。關(guān)于更多無(wú)塵車間管理請(qǐng)參考：http://www.iwuchen.com/news-5/

2．0無(wú)塵車間管理的原則

2.1        進(jìn)入潔凈室的管理，包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入、物料進(jìn)入、各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備、管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。

2.2        操作管理技術(shù)，對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作；室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。

2.3        嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具(工裝夾具)等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級(jí)。

2.4        清掃、滅菌管理，對(duì)潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。

2.5        潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。

3．0適用范圍

半導(dǎo)體公司所有潔凈生產(chǎn)區(qū)及潔凈輔助間(包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關(guān)生活用室等)、車間內(nèi)管理區(qū)(包括部分辦公、值班、管理和體息室等)和將來(lái)新建、改建、擴(kuò)建的潔凈廠房及其輔助用房。

4．0術(shù)語(yǔ)：無(wú)

5．0管理程序

5．1無(wú)塵車間潔凈室施工管理制度

5．1．1背景

5．1．1．1半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

5．1．1．2圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

5．1．1．3潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

5．1．2責(zé)任與義務(wù)

5．1．2．1所有承包商有責(zé)任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時(shí)給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責(zé)任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。

5．1．2．2承包商負(fù)責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對(duì)潔凈建設(shè)區(qū)域進(jìn)行檢查，并填寫(xiě)檢查清單。承包商負(fù)責(zé)提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負(fù)責(zé)提供每日?qǐng)?zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。

5．1．2．3承包商建造區(qū)域入口并對(duì)其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個(gè)入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對(duì)在潔凈區(qū)域工作的人員進(jìn)行培訓(xùn)，并維護(hù)被允許在此區(qū)域工作的人員身份認(rèn)定和管理。

5．1．2．4開(kāi)始階段，承包商應(yīng)在每個(gè)入口處安排人員（除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員）以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。 

5．1．2．5重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開(kāi)除。沒(méi)有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。

5．2無(wú)塵車間潔凈度定期檢測(cè)制度/測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

5.2.1       為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度進(jìn)行檢測(cè)。

5.2.2       檢測(cè)測(cè)試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器

5.2.3       檢測(cè)周期：每周一上午、下午對(duì)各潔凈區(qū)域進(jìn)行一次檢測(cè)

5.2.4       檢測(cè)條件：靜態(tài)潔凈度測(cè)試

5.2.5       數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測(cè)的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲(chǔ)存，并在每個(gè)季度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報(bào)給各部門。

5.2.6       各潔凈區(qū)域潔凈級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)》要求執(zhí)行。

5.2.7       潔凈室用凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備的維護(hù)管理與相應(yīng)的操作規(guī)程、維修制度等（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和潔凈室相關(guān)的公用動(dòng)力系統(tǒng)的設(shè)備、管線等管理維護(hù)，如，空氣過(guò)濾器、空調(diào)機(jī)、局部?jī)艋O(shè)備、冷凍機(jī)及水泵、純水設(shè)備、配電設(shè)備、安全報(bào)警設(shè)施等）執(zhí)行威世半導(dǎo)體(西安)有限公司廠務(wù)部相關(guān)SOP文件。

5．3潔凈室人員管理制度

5．3．1潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責(zé)、潔凈室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。

5．3．2人員凈化與進(jìn)入

5.3.2.1  在潔凈廠房?jī)?nèi)眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng)，會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。

5.3.2.2  對(duì)于高級(jí)別潔凈區(qū)域，應(yīng)嚴(yán)格控制進(jìn)入人員數(shù)量，并規(guī)范進(jìn)行二次更衣。

5.3.2.3  要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級(jí)或延長(zhǎng)空氣過(guò)濾器的使用壽命，對(duì)進(jìn)入潔凈室的人員、物料進(jìn)行凈化十分必要。

5.3.2.4  為保持潔凈室空氣潔凈度，應(yīng)盡量減少進(jìn)入潔凈室人員帶入的污染物。所有進(jìn)人潔凈室的人員必須嚴(yán)格地按規(guī)定程序進(jìn)行人身凈化。

5.3.2.5  個(gè)人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級(jí)相應(yīng)的脫衣順序脫衣，放在規(guī)定的衣柜內(nèi)。

5.3.2.6  進(jìn)入脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內(nèi)，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進(jìn)入更衣室。

5.3.2.7  若公司后期發(fā)展需要更高潔凈級(jí)別要求的潔凈區(qū)域（指高于ISO Class7級(jí)別）進(jìn)入前，需要設(shè)置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動(dòng)烘手器烘干）。

5.3.2.8  凡是交叉污染的媒介，要經(jīng)常洗滌。不要用手觸及高凈化產(chǎn)品和高凈化包裝材料等。要按規(guī)定戴手套和指套。